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NF3

產(chǎn)品型號(hào):

NF


產(chǎn)品特點(diǎn)

昊華氣體有限公司成立于2020年7月,總部位于洛陽(yáng),是中國(guó)化工集團(tuán)有限公司整合黎明院(洛陽(yáng))、光明院(大連)、西南院(成都)氣體業(yè)務(wù)組建而成的集科研生產(chǎn)、開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)、技術(shù)服務(wù)、質(zhì)量檢驗(yàn)于一體的綜合性科技型企業(yè)。
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產(chǎn)品詳情


  充裝容器 :47 L cyl, 16 cyl bundle, 440 L, 20 ft ISO, 40 ft ISO

  閥門(mén)種類(lèi) :滿足客戶不同需求

NF3電子級(jí)三氟化氮  4N-4N5

應(yīng)用

  三氟化氮是在制造半導(dǎo)體,液晶顯示器,太陽(yáng)能電池的化學(xué)氣象積淀,(Chemical Vapor Deposition,簡(jiǎn)稱CVD)工藝中,用于清除艙室內(nèi)壁殘留物的氣體。

產(chǎn)能

2000t/年(4600噸項(xiàng)目建成后可達(dá)5000t/年)

產(chǎn)品指標(biāo)

項(xiàng)目名稱

NF10-2

CF10-6

N10-6

O2+Ar 10-6

CO 10-6

CO210-6

N2O 10-6

SF10-6

HF 10-6

H20 10-6

GB/T 21287-2007

≥99.99

≤50

≤10

≤5

≤5

≤5

≤5

≤5

≤1

≤1

Q/CHC 001-2020

≥99.99

≤40

≤5

≤3

≤1

≤5

≤5

≤5

≤1

≤1

 

包裝規(guī)格

鋼瓶體積

43L/47L

440L/470L

20ft ISO

40ft ISO

鋼瓶容量

20kg

200kg

4000kg

8000kg

瓶閥規(guī)格

CGA330/DIWW640/JIS22R

CGA330/DISS640/JIS22R

DISS640

DISS640

 

關(guān)鍵詞:氣體產(chǎn)品、電子特氣

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