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WF6

產品型號:

WF


產品特點

昊華氣體有限公司成立于2020年7月,總部位于洛陽,是中國化工集團有限公司整合黎明院(洛陽)、光明院(大連)、西南院(成都)氣體業(yè)務組建而成的集科研生產、開發(fā)設計、技術服務、質量檢驗于一體的綜合性科技型企業(yè)。
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產品詳情


WF6 電子級六氟化鎢 5N

應用

六氟化鎢主要用于電子工業(yè)中金屬鎢化學氣象積淀工業(yè)(CVD)工藝,由它制成的硅化鎢(WSi2)可用作大規(guī)模集成電路中的配線材料。此外,六氟化鎢還用于制作半導體電極和導電漿糊等。

產能

100t/年 (4600噸項目建成后可達700t/年)

產品指標

輕組分雜質技術指標(10-6)                                          純度99.999%

項目

O2

N2

CO

CO2

CF4

SF6

SiF4

HF

指標

≤0.5

≤1.0

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤5.0

金屬元素雜質(10-9,質量分數)

項目

Fe

K

Na

Cr

Th

U

Co

Pb

指標

≤20

≤20

≤15

≤10

≤0.1

≤0.1

≤10

≤10

項目

Ca

Mg

Ni

Cu

Al

Mn

Mo

Zn

指標

≤10

≤10

≤20

≤10

≤20

≤20

≤100

≤10

 

包裝規(guī)格

鋼瓶體積

10L

40L

鋼瓶容量

15kg

50kg

瓶閥規(guī)格

CGA638

CGA638

或根據客戶要求提供其他規(guī)格的包裝

關鍵詞:氣體產品、電子特氣

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