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  • cf4.JPG

CF4

產(chǎn)品型號:

CF


產(chǎn)品特點

昊華氣體有限公司成立于2020年7月,總部位于洛陽,是中國化工集團有限公司整合黎明院(洛陽)、光明院(大連)、西南院(成都)氣體業(yè)務組建而成的集科研生產(chǎn)、開發(fā)設計、技術(shù)服務、質(zhì)量檢驗于一體的綜合性科技型企業(yè)。
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產(chǎn)品詳情


CF4電子級四氟化碳 5N-5N7

應用

CF4又名四氟甲烷、R14,是一種無色、無毒、不燃燒、有輕微醚味的無腐蝕性氣體。通常以壓縮狀態(tài)儲存,高壓運輸,其性質(zhì)十分穩(wěn)定,是目前半導體行業(yè)主要的等離子體蝕刻氣體之一,廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、金屬硅化物以及某些金屬的蝕刻。同時,在低溫制冷、電子器件表面清洗和氣象絕緣等方面被廣泛應用。

產(chǎn)能

450t/年 (4600噸項目建成后可達1450t/年)

產(chǎn)品指標

項目名稱

CF4  10-2

N10-6

O210-6

CO 10-6

CO210-6

SF610-6

Acidity10-6

Other halocarbons F-C 10-6

H20 10-6

5N

≥99.999

≤4

≤1

≤0.1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

5.8N

≥99.9998

≤1

≤0.5

≤0.1

≤0.4

≤0.1

≤0.1

≤0.5

≤0.5

 

包裝規(guī)格

鋼瓶體積

43L

47L

40ft ISO

鋼瓶容量

26kg

30kg

12400kg

瓶閥規(guī)格

CGA580

CGA320/CGA580

DISS716

或根據(jù)客戶要求提供其他規(guī)格的包裝

關(guān)鍵詞:氣體產(chǎn)品、電子特氣

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